细水雾灭火技术在消防方面的应用始于二十世纪四十年代，当时主要用于特殊的场所，如运输工具等。由于当时水喷淋灭火技术作为主要发展和研究方向，细水雾灭火技术没有得到深入研究，故一直发展比较缓慢。随着科学技术的进步、人们防灭火观念的转变，特别是发现卤代烷灭火剂对大气臭氧层有破坏作用以及一九八七年蒙特利尔议定书签署之后，细水雾灭火技术作为哈龙主要替代技术之一得到各界的关注和青睐。细水雾灭火技术在二十世纪九十年代才得到飞跃性地发展。
1993年，美国工程界和科研部门、细水雾系统的制造商、保险公司、行政管理部门和工业用户代表，组成了美国消防联合会细水雾灭火系统技术委员会，该委员会开始编制用于规范细水雾技术的NFPA标准，并作为设计和安装的依据。
1996年，在美国的马萨诸塞州波士顿市每年5月的年会上，细水雾灭火系统技术委员会提交了细水雾灭火系统标准，并获得美国消防联合会的批准。并于同年7月18日颁布，8月9日开始实施。96版NFP被批准为美国国家规范。这是世界上第一本细水雾灭火系统的设计安装规范，而且是一体性能化的规范。它的出现进一步推动了细水雾灭火技术的深入研究，也预示着细水雾应用将进入一个新阶段。
许多发达国家(主要是欧美、日本等国)他们在经历了多年的理论性试验探索以及应用性研究后，已经相继开发出多种类型的细水雾灭火系统。并且开始广泛应用在相关领域和场所，目前已有产品进入国内市场，有的已投入使用。
中国90年代末开始进行细水雾灭火系统的研究开发和试验工作，并列为国家“九五”科技攻关项目。其主要是参照美国NFPA750标准并结合我国实际应用情况开展各项研发工作，至此已经相继开发出相应的细水雾灭火系统，目前已有产品问市。
但至今还没有一本国家级的有关细水雾灭火系统的设计、施工和验收标准和规范。目前北京及浙江省的主管部门已制定出相应的细水雾灭火系统设计、施工及验收规范。
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